檢索結果:共2筆資料 檢索策略: "none".ecommittee (精準) and ckeyword.raw="繞射"
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本文旨在研究利用繞射光學方式結合位置感測器(PSD)來量測物體變形量之方法。將反射式薄膜光柵緊貼於待測物體上,當雷射光源照射於光柵上時,會因為繞射現象而產生繞射光,本文主要擷取+1號及-1號繞射光在…
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以往相位量測法,常用於表面連續變化的量測,而對於階級跳動表面(例如光柵),則不易進行。本研究利用現有的設備建構一組改良式麥克森干涉儀,並結合光學顯微鏡,針對奈米級的光柵量測其線寬及階高。干涉術中加入…